[发明专利]用于制造物理气相沉积(PVD)用靶的方法在审
| 申请号： | 202080016222.6 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113474108A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 阿尔卡迪·茨金;贝诺·维德里希;尤尔根·拉姆;斯特凡·安德斯 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | B22F10/20 | 分类号： | B22F10/20;B22F3/16;B22F7/08;B23P6/00;B33Y10/00;B33Y40/20;B33Y80/00;C23C14/34;H01J37/34;C23C4/06;C23C4/08;C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于构建和/或最终形成PVD靶的方法，其中，该方法包括使用增材法来累加靶材的工艺步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 物理 沉积 pvd 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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