[发明专利]用于事故耐受核燃料、粒子加速器、和航空航天前沿的金属和陶瓷纳米涂层的方法和设备

摘要

描述一种系统，包括：溅射靶；磁元件阵列，其包括多组磁体，所述多组磁体被布置为具有沿所述溅射靶的长度延伸的霍耳效应区域。细长的溅射电极材料管介于所述磁阵列与一对象之间，所述对象拟沉积来自所述溅射靶的溅射材料。在直流高功率激冲磁控溅射操作过程中，所述系统被构造通过以下方式产生和控制离子和中性粒子通量而对所述对象的表面执行沉积：提供真空设备，其包含溅射靶固持电极；第一产生具有高电流负直流(DC)脉冲的高功率脉冲等离子体磁控放电至所述溅射靶固持电极；在终止所述负DC脉冲之后，第二产生可构造的正电压突跳脉冲至所述溅射靶固持电极。