[发明专利]超声波检查装置及超声波检查方法在审
| 申请号： | 202080016593.4 | 申请日： | 2020-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN113474646A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 穗积直裕;松井拓人;松本彻;江浦茂 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人丰桥技术科学大学;浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/265 | 分类号： | G01N29/265;G01N29/46;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的超声波检查装置(1)是以封装化了的半导体器件(D)为检查对象的超声波检查装置，其具备：超声波振子(2)，其与半导体器件(D)相对地配置；脉冲产生器(4)，其产生自超声波振子(2)输出的超声波(W)的产生所使用的驱动信号；及解析部(22)，其解析与由超声波振子(2)输出的超声波(W)的照射相应地自所述半导体器件输出的输出信号；且脉冲产生器(4)以超声波(W)在半导体器件(D)内的吸收成为最大的方式设定驱动信号的最佳频率。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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