[发明专利]控制液滴生成器性能的设备和方法在审
| 申请号： | 202080016743.1 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN113508645A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | P·贝亚吉;B·罗林格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种控制用于生成EUV辐射的液滴的形成的设备和方法。液滴源包括离开喷嘴的流体和具有在流体中产生扰动的可电致动元件的子系统。液滴源产生流，该流分裂成液滴，当液滴朝向辐照区域前进时，液滴转而聚结成更大的液滴。可电致动元件由具有正弦波分量和方波分量的控制信号驱动。测量和控制各种参数，诸如正弦波分量与方波分量之间的相位差，以使流中未聚结的卫星液滴的形成最小化。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 生成器 性能 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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