[发明专利]电阻式金属氧化物气体传感器及其制造方法和操作该传感器的方法在审
| 申请号： | 202080018923.3 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113544499A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | S·巴奇;D·埃利 | 申请（专利权）人： | 盛思锐股份公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N33/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 谭冀 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 电阻式金属氧化物气体传感器包含支撑结构和布置在支撑结构上或部分地容纳在支撑结构中的多孔传感层(1)。电极(2)与多孔传感层(1)电连通，并且加热器(3)与多孔传感层(1)热连通。可操作加热器(3)以加热多孔传感层(1)至目标温度从而允许基于经由电极(2)提供的传感信号来测定目标气体即臭氧的存在或浓度。多孔传感层(1)包含相互连接的单晶金属氧化物纳米颗粒(14)的网络和该网络的气体选择性涂层(12)。多孔传感层(1)的厚度(t1)为至多10pm。涂层(12)包含氧化硅和氮化硅中的一种或多种，并具有小于5nm的厚度(t12)。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 金属 氧化物 气体 传感器 及其 制造 方法 操作 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛思锐股份公司，未经盛思锐股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080018923.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高强度钢板及其制造方法
- 下一篇：无纺布层叠体、复合层叠体及被覆片
