[发明专利]钝化方法在审
申请号: | 202080019215.1 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN113574137A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | J·S·W·戈丁;B·温格;H·J·斯奈思 | 申请(专利权)人: | 牛津大学创新有限公司 |
主分类号: | C09K11/08 | 分类号: | C09K11/08;H01L51/50 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 李艳;臧建明 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于生产钝化的半导体的工艺,所述工艺包括用钝化剂处理半导体,其中:半导体包括结晶化合物,所述结晶化合物包括:(i)一种或多种第一阳离子(A);(ii)一种或多种金属阳离子(M);以及(iii)一种或多种阴离子(X);并且钝化剂包括包含氧‑氧单键的化合物。还提供了钝化剂的组合物以及用途。 | ||
搜索关键词: | 钝化 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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