[发明专利]采用脉冲激光束聚焦线和气相蚀刻对透明工件进行激光加工的方法在审
| 申请号： | 202080022588.4 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN113614045A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | H·D·伯克;A·S·盖伯;G·A·皮切;A·B·鲁芬;D·A·斯特恩奎斯特;M·B·韦伯 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
透明工件的加工方法包括：引导脉冲激光束进入透明工件中，使得被引导进入到透明工件中的一部分的脉冲激光束在透明工件中产生感应吸收，从而在透明工件内形成损坏线，以及被引导进入到透明工件中的那部分的脉冲激光束包括：波长λ，光斑尺寸w |
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| 搜索关键词： | 采用 脉冲 激光束 聚焦 和气 蚀刻 透明 工件 进行 激光 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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