[发明专利]卡盘的防尘机构和卡盘在审
| 申请号： | 202080023642.7 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113613818A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 永翁博 | 申请（专利权）人： | 丰和工业株式会社 |
| 主分类号： | B23B31/00 | 分类号： | B23B31/00;B23Q11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 马淑香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 技术方案：卡盘的防尘机构包括流体供给源、设置于卡盘内部的内部空间、以及设置于卡盘的排出空间。供给流体从流体供给源供给到内部空间并成为加压流体而经过内部空间。排出空间从内部空间向卡盘的外部排出加压流体。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 防尘 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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