[发明专利]层叠体、组合物及层叠体形成用套组有效
申请号: | 202080023683.6 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN113631597B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 中村敦;高桑英希 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | C08F220/30 | 分类号: | C08F220/30;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/32;G03F7/42 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供一种层叠体、用于形成上述层叠体中所包含的保护层或感光层的组合物及用于形成上述层叠体的层叠体形成用套组,该层叠体依次包含基材、有机层、保护层及感光层,上述感光层包含树脂,所述树脂具有含有下述式(A1)所表示的酸分解性基团的重复单元,相对于上述树脂的总质量,上述树脂中所包含的具有极性基团的重复单元的含量小于10质量%,上述感光层供于使用显影液的显影,上述保护层供于使用剥离液的去除。 |
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搜索关键词: | 层叠 组合 体形 成用套组 | ||
【主权项】:
暂无信息
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