[发明专利]频率拓宽装置和方法有效
| 申请号： | 202080024153.3 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113631999B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;P·W·斯科尔斯-范埃克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/355 | 分类号： | G02F1/355 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;吕世磊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置(100)，用于接收输入辐射(108)并且拓宽输入辐射的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置包括光纤(102)，其中光纤(102)可以包括用于引导辐射传播通过光纤(102)的空芯(104)。装置(100)还包括用于在空芯(104)内提供气体混合物(106)的装置。气体混合物(106)包括氢组分和工作组分，其中工作组分用于拓宽接收到的输入辐射(108)的频率范围以便提供宽频带输出辐射(110)。该装置可以被包括在辐射源中。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 拓宽 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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