[发明专利]用于确定图案化过程中的图案的方法在审
| 申请号： | 202080024772.2 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113892059A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 马紫阳;程进;罗亚;郑雷武;郭欣;王祯祥;范永发;陈峰;陈怡吟;张辰骥;卢彦文 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06N3/08;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于训练图案化过程模型的方法，所述图案化过程模型被配置成预测将形成在图案化过程上的图案。所述方法涉及：获得与期望的图案相关联的图像数据，衬底的测量图案，包括第一参数集合的第一模型，和包括第二参数集合的机器学习模型；和迭代地确定所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以训练图案化过程模型。迭代涉及：使用所述图像数据来执行所述第一模型和所述机器学习模型以协作地预测所述衬底的印制图案；和修改所述第一参数集合和所述第二参数集合的值以使得所述测量图案与所述图案化过程模型的预测图案之间的差减小。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 图案 过程 中的 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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