[发明专利]透明工件的激光加工在审
申请号: | 202080025023.1 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN113646123A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | M·L·甘尼尔 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/0622 | 分类号: | B23K26/0622;B23K103/00;B23K26/064;B23K26/066;B23K26/073;B23K26/53;C03B33/02;H01S5/02;B23K101/40;B23K101/42 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖;张鑫 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于加工透明工件的方法,包括生成辐射射束和在物体中或在物体上形成缺陷。该射束是准非衍射射束并且具有聚焦体积。形成缺陷包括将射束引导到物体上并且将聚焦体积部分地或完全地定位在物体内。生成射束包括:使用可调节阻挡元件来部分地阻挡聚焦体积上游的射束以调节自由形态能量分布相对于射束的光轴的轴对称性,和/或使用相位掩模来在空间上调制聚焦体积上游的射束的相位以调节自由形态能量分布的几何形状。该自由形态能量分布具有足以在物体的与聚焦体积同位的区域中诱导多光子吸收的能量。所诱导的多光子吸收产生缺陷。 | ||
搜索关键词: | 透明 工件 激光 加工 | ||
【主权项】:
暂无信息
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