[发明专利]具有多层波导的薄膜SAW器件在审
| 申请号： | 202080026558.0 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113692705A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | M·斯米尔诺瓦;M·纳普 | 申请（专利权）人： | RF360欧洲有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;董典红 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在至少一个实施例中，SAW器件包括载体衬底(1)、载体衬底上的压电薄膜(2)、压电薄膜上的叉指电极结构(3)和波导层的层堆叠(4)。层堆叠布置在载体衬底和压电薄膜之间。层堆叠包括第一波导层(41)和第二波导层(42)，其中第一波导层中的声速至少是第二波导层中的声速的1.5倍。该器件可以包括在层堆叠与载体衬底之间的温度补偿层(5)和富陷阱层(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多层 波导 薄膜 saw 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于RF360欧洲有限责任公司，未经RF360欧洲有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080026558.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
