[发明专利]用于预测衬底图像的方法和设备在审
| 申请号： | 202080026837.7 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113661447A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 斯科特·安德森·米德尔布鲁克斯;安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼;M·G·M·M·范卡拉埃吉;M·皮萨连科;斯蒂芬·亨斯克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06N3/02;G06N3/08;G06N3/04;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中描述了一种用于训练机器学习模型的方法，所述机器学习模型被配置成预测对应于如经由量测工具所测量的衬底的印制图案的衬底图像，所述方法包括：获得训练数据集合，所述训练数据集合包括(i)用于对所述衬底的所述印制图案进行测量的所述量测工具的量测数据，和(ii)用于将所述印制图案成像到所述衬底上的掩模图案；以及基于所述训练数据集合来训练机器学习模型，以预测如由所述量测工具所测量的所述衬底的所述衬底图像，使得成本函数被改善；其中所述成本函数包括预测衬底图像与所述量测数据之间的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 预测 衬底 图像 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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