[发明专利]压电体膜利用装置在审
| 申请号： | 202080030846.3 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113711371A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 黑川英太郎;下地规之;藤森敬和 | 申请（专利权）人： | 罗姆股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/09;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 喷墨打印头(1)包括：压力室(5)；包含划分出压力室(5)的顶面部的可动膜(10A)的可动膜形成层(10)；和压电元件(6)，其形成为与可动膜(10A)的与压力室(5)相反侧的表面接触，具有在俯视时比可动膜(10A)更靠压力室(5)的内方的周边缘。压电元件(6)包括：形成于可动膜形成层(10)的与压力室(5)相反侧的表面的下部电极(7)；配置于下部电极(7)的与可动膜形成层(10)相反侧的上部电极(9)；和设置于上部电极(9)与下部电极(7)之间的压电体膜(8)，上部电极(9)在周边缘部的至少一部分具有薄壁部(92)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 利用 装置 | ||
【主权项】：
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