[发明专利]微小物体的集聚方法以及微小物体的集聚系统有效
申请号: | 202080030848.2 | 申请日: | 2020-04-22 |
公开(公告)号: | CN113766970B | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 饭田琢也;床波志保;石川弘树;山崎力 | 申请(专利权)人: | 公立大学法人大阪;株式会社村田制作所 |
主分类号: | G02B21/32 | 分类号: | G02B21/32;B01J19/00;C12M1/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 树脂珠(R)的集聚方法包含第1步骤~第4步骤。第1步骤是在设置于基板(11)的上表面(US)的薄膜(12)上准备样本(S)的步骤。第2步骤是将激光(L1)和激光(L2)相互分开地照射到薄膜(12)的步骤。第3步骤是通过激光(L1、L2)的照射对样本(S)进行加热,由此在激光(L1)的照射位置产生微泡(MB1)并且在激光(L2)的照射位置产生微泡(MB2)的步骤。第4步骤是通过在与微泡(MB1)和微泡(MB2)的排列方向垂直的方向上产生样本(S)的对流,从而在微泡(MB1)与微泡(MB2)之间的区域集聚多个树脂珠(R)的步骤。 | ||
搜索关键词: | 微小 物体 集聚 方法 以及 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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