[发明专利]用于对样品表面进行检查的正入射相移偏转测量传感器、系统和方法在审
| 申请号： | 202080031497.7 | 申请日： | 2020-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113767277A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | D·施尔茨;N·罗伊森 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司工业质量解决方案有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;李啸 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于对样品的表面进行检查的系统，该系统包括正入射相移偏转测量（PSD）传感器，该传感器包括成像传感器、分束器以及被布置在成像传感器与分束器之间的成像光学器件。光照源采用光图案照射样品并且被布置成垂直于样品的表面。成像传感器在传感器图像中撷取从样品表面反射的光图案。分束器将来自光照源的光的第一部分引导到光吸收器，将来自光照源的光的第二部分引导到样品的表面，并且将从样品的表面反射的光图案引导到成像传感器。一种与该正入射PSD传感器通信的数据处理设备基于传感器图像来确定样品表面的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 样品 表面 进行 检查 入射 相移 偏转 测量 传感器 系统 方法 | ||
【主权项】：
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