[发明专利]集成式工具升降机

摘要

提供了半导体处理工具，其包含：上部支撑框架；沿第一轴布置的多个半导体处理室；线性引导系统，其由上部支撑框架固定地支撑，并沿着基本平行于第一轴的第二轴延伸；以及载架。每一处理室均具有相对于上部支撑框架而固定地安装的基部，且具有包含一或多个升降特征的可卸除式上盖。载架包含升降臂，其被配置成围绕竖直轴而枢转，该竖直轴基本垂直于第二轴，载架被配置成与线性引导系统能移动地接合且相对于线性引导系统而沿着第二轴平移。载架以及升降臂均为可移动式，以使升降臂的升降特征接合接口可以被移动以与任一可卸除式上盖的升降特征接合。