[发明专利]用于控制液滴形成的装置和方法在审
| 申请号： | 202080033893.3 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113812214A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | J·M·卢肯斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于控制用于生成EUV辐射的液滴形成的装置和方法，包括产生指向辐照区域和液滴源的激光束的装置。该液滴源包括具有喷嘴的毛细管和用于在该毛细管中的液体源材料中产生干扰的电致动元件。该液滴源产生流，该流破碎为液滴，当它们朝着该辐照区域前进时，该液滴进而聚结为更大的液滴。该电致动元件由与控制所述液滴生成/聚结过程的该液滴源的至少一个谐振相关联的波形驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 形成 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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