[发明专利]包括消球差单物镜的量测工具在审
| 申请号： | 202080036107.5 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113906346A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | F·泽普 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种量测工具、一种消球差单透镜、和一种设计消球差单透镜的方法。量测工具用于确定衬底上的结构的特性。量测工具包括用于检测在波长范围内的辐射的光学检测系统。光学检测系统包括用于将辐射聚焦至检测器上的消球差单透镜。消球差单透镜具有在所述波长范围内的消球差波长。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 消球差单 物镜 工具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080036107.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
