[发明专利]用于透明材料的激光加工的方法和装置在审

专利信息
申请号: 202080036224.1 申请日: 2020-05-14
公开(公告)号: CN113825585A 公开(公告)日: 2021-12-21
发明(设计)人: M·米库蒂斯;O·乌尔西娜斯;T·格图斯;A·乌尔巴斯 申请(专利权)人: UAB阿尔特克纳研究与开发所
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046;B23K26/06;B23K26/064;B23K26/067;B23K26/122;B23K26/38;B23K26/402;C03B33/02;C03C15/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 黄晓升
地址: 立陶宛*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及通过超短激光脉冲制造透明材料。一种用以制造对激光波长大部分透明的材料的方法,该方法包括由光学元件形成非中心对称的无衍射光束,该光学元件包含至少两个双折射结构区域,该双折射结构区域根据特定于该特定区域的规则改变Pancharatnam‑Berry相位。能量、相位和偏振的分布取决于接近所述元件的光的参数。选择脉冲能量以利用分布的主最大值来形成沿期望方向伸长的空隙,而侧最大值形成来自相邻脉冲的损伤之间的化学特性的变化。空隙损伤和化学变化区域形成期望的切割线。将以所述方式制备的工件置于化学聚集溶液中,其中,受激光影响的区域比未受影响的区域溶解得快得多。这使得能够实现具有高达1/50的纵横比的切割。
搜索关键词: 用于 透明 材料 激光 加工 方法 装置
【主权项】:
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