[发明专利]用于利用图像对材料进行曝光的系统和方法在审
| 申请号： | 202080036246.8 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN113892060A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 恩德雷·柯克霍恩;特龙·约尔根森;约翰·达埃 | 申请（专利权）人： | 维斯泰克公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B29C64/124;B33Y10/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁丽超 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于利用图像对材料进行曝光的系统，包括曝光台(12)和电子光投影仪(13)，该电子光投影仪布置在曝光台(12)的上方，并适于朝向布置在曝光台(12)上的材料投射图像。电子光投影仪和曝光台被配置为相对于彼此移动，并且电子光投影仪(13)连接到投影仪控制单元。投影仪控制单元被配置为提供由图像数据表示的要曝光的图像的序列，将静态图像图案叠加到要曝光的图像的边缘部分上，从而产生组合的图像的序列，并且电子光投影仪(13)被配置为将组合的图像顺序地曝光到材料上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 利用 图像 材料 进行 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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