[发明专利]用于微加工超声换能器器件的分段式吸气剂开口在审
| 申请号： | 202080037126.X | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN114555248A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 刘建伟;缪凌云 | 申请（专利权）人： | 布弗莱运营公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01L7/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李德山;刘敏 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种超声换能器器件，该超声换能器器件包括设置在衬底上的换能器腔体的底部电极层、以及将该底部电极层与该衬底电连接的多个通孔。底部腔体层设置在该底部电极层上，并且一个或多个开口形成于该底部腔体层中以暴露该底部电极层的区域，其中该一个或多个开口的位置是邻近该换能器腔体的外周边设置并且基本上对应于正下方未设置该多个通孔的位置的区段。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 超声 换能器 器件 段式 吸气 开口 | ||
【主权项】：
暂无信息
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