[发明专利]圆筒内表面检查装置在审
| 申请号： | 202080038982.7 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN113906288A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 大浦崇 | 申请（专利权）人： | 在线业务解决方案株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/954 | 分类号： | G01N21/954 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 与在检查探测器内利用光纤束对反射光进行传输的结构相比，能够增加传输的反射光的光量，并且简化检查探测器的构造。检查探测器(12)通过将由石英玻璃构成的圆筒状的中空的玻璃管(61)插入于由不锈钢等构成的圆筒状的外装部件(62)而构成。玻璃管(61)将来自激光发光装置(16)的激光作为照射光(101)而经由中空区域传输至前端部。检查探测器(12)将照射光(101)经由玻璃管(61)的中空区域传输至前端部，利用设置于其前端部的反射镜(64)使照射光反射，由此将照射光(101)向检查对象物(80)的内表面照射，利用反射镜(64)使从检查对象物(80)的内表面反射的反射光(102)反射并经由玻璃管(61)的除了中空区域以外的区域而传输至光电变换部(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒 表面 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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