[发明专利]半导体处理装置及方法在审
| 申请号： | 202080045039.9 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113994452A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王卓;周仁;张赛谦 | 申请（专利权）人： | 拓荆科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 110171 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种用于半导体处理装置的盘体，其包含第一电极及第二电极，其中所述第一电极经由第一切换开关选择性地耦接至第一接地端，所述第二电极经由第二切换开关选择性地耦接至第二接地端，所述第一电极与所述第二电极彼此电性隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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