[发明专利]衬底处理装置在审
| 申请号： | 202080045507.2 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN114008739A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李栽玩;金容玹;金润晶;金尹会;朴昶均;郑求贤;金起范;史胜晔 | 申请（专利权）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 许伟群;李少丹 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底处理装置，包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极的位置可以考虑热膨胀系数的差异而提前调整，使得即使在处理期间第一电极和第二电极出现热膨胀的情况下也防止通过第一电极和第二电极之间的接触所产生的短路。即使在第一电极和第二电极由于处理期间温度的上升而出现热膨胀的情况下，本发明的衬底处理装置也可以防止第一电极和第二电极之间的短路，并且可以在用于处理大衬底的衬底处理装置中维持薄膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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