[发明专利]包括集成片上光波导的光热气体检测器在审
申请号: | 202080047105.6 | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN114096829A | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | J.克拉夫特;R.米尼克霍夫;V.西德罗夫;安德森.辛古拉尼;M.萨格梅斯特;F.卡斯塔诺 | 申请(专利权)人: | ams有限公司 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/39;G01N21/45 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邓亚楠 |
地址: | 奥地利普*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种装置包括集成波导结构和第一光源,该第一光源能够操作以产生具有第一波长的探测束,其中该探测束耦合到波导结构的第一端。第二光源能够操作以产生具有第二波长的激发束,以激发紧靠探测束路径的气体分子。光检测器耦合到集成波导结构的第二端,并且能够操作用于在探测束穿过波导结构之后检测探测束。该装置是能够操作的,使得气体分子的激发导致气体分子的温度升高,这引起可由光检测器测量的探测束的变化。 | ||
搜索关键词: | 包括 集成 上光 波导 光热 气体 检测器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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