[发明专利]光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂的制造方法、光致抗蚀剂用树脂组合物以及图案形成方法在审
| 申请号： | 202080048192.7 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN114051507A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 伊藤昭德;江口明良 | 申请（专利权）人： | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/20;C08F220/28;C08F220/36;G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 杨薇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种在抗蚀剂溶剂中的难溶解成分减少，由此发挥高抗蚀性能的树脂及其制造方法。一种光致抗蚀剂用树脂，其包含丙烯酸系树脂，所述光致抗蚀剂用树脂在以树脂固体成分浓度为5重量％的方式溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯时，使用平成15年度厚生劳动省告示第261号日本水道协会“上水试验法”所记载的方法测定的聚苯乙烯换算浊度为30以下。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 树脂 制造 方法 组合 以及 图案 形成 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社大赛璐，未经株式会社大赛璐许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080048192.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：制剂
- 下一篇：增材制造组合物和方法
