[发明专利]用于透明工件的大角度激光加工的相位修改准非衍射激光射束

摘要

一种用于加工透明工件的方法，该方法包括将激光射束引导到透明工件。入射到冲击表面的激光射束具有长圆形角谱，并且被引导到透明工件中的激光射束的部分是激光射束焦线，并且生成诱导吸收以在透明工件内产生缺陷。激光射束焦线包括：波长λ；光斑尺寸wo；瑞利范围ZR，该瑞利范围ZR大于其中FD是包括10或更大的值的无量纲发散因子；以及内部射束角，该内部射束角相对于在冲击位置处与冲击表面正交的平面大于10°，使得缺陷具有相对于冲击位置处与冲击表面正交的平面大于10°的透明工件内的缺陷角。