[发明专利]真空泵在审
申请号: | 202080049166.6 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN114026335A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 武田俊介;坂口祐幸 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/32;F04D29/52 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李婷;王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种即便减小转子圆筒部的半径方向的直径,也保持定子柱的固定部的强度,维持排气流路的导通而不会令排气性能降低的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中,具备作为连结西格本泵部和螺纹槽泵部的构造的连结型螺纹槽衬垫,作为该连结型螺纹槽衬垫的排气流路部的螺纹槽的出口位置为定子柱的固定部(固定螺栓)附近时,排气流路的导通降低。因此,令连结型螺纹槽衬垫的螺纹峰与定子柱的固定部的设置位置的周方向的相位尽可能对齐。换言之,将作为排气流路的连结型螺纹槽衬垫的螺纹槽设置在定子柱的固定部的设置位置的周方向之间,抑制排气流路的导通的降低。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
暂无信息
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