[发明专利]基板加工用临时粘合材料及层叠体的制造方法在审
| 申请号： | 202080049294.0 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN114096633A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 田边正人;菅生道博;安田浩之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09J183/07 | 分类号： | C09J183/07;C09J183/05;C09J153/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为一种基板加工用临时粘合材料，其用于将应加工背面的基板临时粘合于支撑体，所述基板加工用临时粘合材料的特征在于，所述临时粘合材料相对于总质量100份含有10质量份以上100质量份以下的含硅氧烷键聚合物，该含硅氧烷键聚合物的利用GPC测定的重均分子量为3,000以上700,000以下，所述临时粘合材料具有第一临时粘合材料层和与所述第一临时粘合材料层不同的第二临时粘合材料层，所述第一临时粘合材料层与所述第二临时粘合材料层中的至少一层的剪切粘度的最小值在130℃以上250℃以下的范围内为1Pa·s以上10,000Pa·s以下。由此，提供一种基板加工用临时粘合材料、及使用该临时粘合材料的层叠体的制造方法，该基板加工用临时粘合材料容易将基板与支撑体临时粘合及剥离，临时粘合材料层形成工序快，尺寸稳定性、对热处理的耐性也优异，能够提高薄型基板的生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 基板加 工用 临时 粘合 材料 层叠 制造 方法 | ||
【主权项】：
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