[发明专利]溅镀靶材在审
| 申请号： | 202080050074.X | 申请日： | 2020-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN114127330A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 丸子智弘;鈴木雄;大友将平;中村紘暢 | 申请（专利权）人： | 株式会社古屋金属 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;C22C28/00;C22C14/00;C22C16/00;C22C27/00;C22C30/00;C22C1/04 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林彦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种溅镀靶材，在溅镀靶材中作为杂质的氟元素的混入得到抑制，且使用该溅镀靶材形成薄膜时能够抑制因氟所导致的异常放电的发生，而形成配向性良好的薄膜。本发明的溅镀靶材的特征在于：包含铝且还包含稀土类元素及钛族元素中任一种或两种，且氟的含量为100ppm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 | ||
【主权项】：
暂无信息
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