[发明专利]机器学习方法、机器学习装置、机器学习程序、通信方法及成膜装置在审
| 申请号： | 202080050307.6 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN114080470A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 国末晃伸;高桥哲也;中岛洋介 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;司昆明 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明中：观测状态变量，该状态变量包含关于成膜的性能评价的至少1个物理量、以及至少1个成膜条件；根据所述状态变量，计算对所述至少1个成膜条件的决定结果的回报；根据所述回报，更新用于根据所述状态变量决定所述至少1个成膜条件的函数；通过反复进行所述函数的更新，从而决定获得所述回报最多的成膜条件；其中，所述至少1个成膜条件是关于真空排气系统的第1参数、关于加热冷却系统的第2参数、关于蒸发源系统的第3参数、关于工作台系统的第4参数、以及关于工艺气体系统的第5参数中的至少1个，所述至少1个物理量是关于皮膜的膜质特性、机械特性、以及物理特性中的至少1个。 | ||
| 搜索关键词： | 机器 学习方法 学习 装置 程序 通信 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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