[发明专利]寄生流量校正方法和校正设备在审
| 申请号： | 202080052664.6 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN114174706A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·V·斯米尔诺夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K31/02;G01F1/68;G01F1/696;G01F1/86;G01F15/00;G01F15/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了质量流量控制器和用于校正与质量流量控制器中的流体的寄生流量相关联的流量不一致的方法。该方法包括获得压力传感器所生成的流体的压力测量信号以及接收流量传感器所生成的流体的流量传感器信号。使用压力测量信号来生成估计寄生流量信号，以及使流量传感器信号加速以产生具有与估计寄生流量信号的带宽相当的带宽的加速流量传感器信号。使用加速流量传感器信号和估计寄生流量信号来生成校正流量信号，以控制质量流量控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 寄生 流量 校正 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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