[发明专利]用于衬底处理系统的边缘环系统在审
| 申请号： | 202080056418.8 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN114207772A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 韩慧玲;黄新伟;亚历山大·米勒·帕特森;萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼;安·埃里克森;乔安娜·吴;施萨拉曼·拉马钱德兰;克里斯托弗·金博尔;阿里斯·佩雷斯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于衬底处理系统的边缘环系统，包括顶部边缘环，所述顶部边缘环包括具有内径和外径的环形体。顶部边缘环的外径小于衬底处理系统的衬底端口的水平开口。第一边缘环设置在顶部边缘环的下方，所述顶部边缘环包括具有内径和外径的环形体。第一边缘环的外径大于衬底处理系统的衬底端口。第一边缘环的内径小于顶部边缘环的内径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 处理 系统 边缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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