[发明专利]用于使平面外感测加速度计偏移最小化的微机电系统结构在审
| 申请号： | 202080063845.9 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN114391103A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | G·拉吉;M·J·汤普森;L·科罗纳托;R·马提尼 | 申请（专利权）人： | 因文森斯公司 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/125;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了倾斜z轴平面外感测微机电系统加速度计和相关结构和配置的示例性实施例。所披露的实施例有助于改善偏移稳定性。非限制性实施例提供示例性微机电系统结构和设备，其特征在于一个或多个具有关于与弹簧或弹性耦合轴正交的轴对称的感测微机电系统结构、与电极图案的其中一个对称轴对齐的弹簧或弹性耦合轴、不同数量的参考电极和感测电极、具有至少两个对称轴(其中一个沿着弹簧或弹性耦合的轴)的参考微机电系统结构和/或在弹簧或弹性耦合轴下方的参考结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平面 外感 加速度计 偏移 最小化 微机 系统 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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