[发明专利]激光加工装置及激光加工方法在审
| 申请号： | 202080063991.1 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114390959A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 荻原孝文;坂本刚志 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在Z方向上，0级光的聚光点，相对于0级光的理想聚光点位于激光的非调制光的聚光点的相反侧、或相对于非调制光的聚光点位于0级光的理想聚光点的相反侧的方式，控制空间光调制器。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080063991.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
