[发明专利]流量调整阀、泵单元以及表面处理装置在审
| 申请号： | 202080067355.6 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114450514A | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 栗原义明;难波武志;福山聪;能势功一 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械株式会社 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K1/00;G05D7/06;H05H1/46;F04D19/04;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及流量调整阀、泵单元以及表面处理装置。为了以较高精度对流体的流量进行调整，流量调整阀(150)具备：流路部(151)，在一端形成有开口部(152)，供流体流动；升降阀(153)，能够对开口部(152)的整个区域进行覆盖而将开口部(152)关闭，且能够通过从开口部(152)向开口部(152)的开口方向分离而将开口部(152)打开，并且能够通过使开口方向上的与开口部(152)的距离(d)变化而使与开口部(152)相对的流通面积(DA)变化；以及伺服促动器(160)，作为基于规定的检测值使升降阀(153)向开口方向移动的驱动机构。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 调整 单元 以及 表面 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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