[发明专利]激光器装置在审
| 申请号： | 202080069810.6 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN114514084A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 加藤直也;山下隆之;石川谅 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/042 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王亚爱 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 参照受光器(300)接收由折回镜(200)的第2反射面(200b)反射的参照光(RL)。部分受光器(600)接收由部分反射镜(500)反射的激光(LB)的一部分。控制部(14)基于参照受光器(300)输出来检测折回镜(200)的第1反射面(200a)相对于入射到折回镜(200)的第1反射面(200a)的激光(LB)的光路的倾斜角的异常，基于部分受光器(600)的输出来检测被照射物中的激光(LB)的光斑的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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