[发明专利]用于放电激光器的传导构件在审
| 申请号： | 202080070914.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN114514477A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | A·J·小艾芬伯格;U·尼曼 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种准分子激光器，包括放电室(12)和传导构件(22)，该传导构件(22)用于传导与激光器的放电室中的放电相关联的电流，该传导构件包括至少一个通道(26a至26d)，该至少一个通道(26a至26d)被配置用于：相对于传导构件的中心部分(34)中的电流流动路径，增加传导构件的端部分(32,34)中的电流流动路径，该传导构件被配置用于将激光器连接到电压源(24)，并且被配置为电压源与激光器的放电室之间提供接口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 放电 激光器 传导 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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