[发明专利]隔膜清洁设备在审
| 申请号： | 202080074029.8 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN114600046A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | A·尼基帕罗夫;V·Y·班尼恩;S·布洛姆;G·C·德弗里斯;H-K·尼恩惠斯;F·斯布莱萨伊 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/62;G03F1/82 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于从隔膜移除颗粒的隔膜清洁设备，包括：隔膜支撑件；受控环境腔室和清洁物质输送机构。输送至所述隔膜的清洁物质的颗粒在受控环境中升华而不留下残留物。受控环境中的掩模、孔和气体阻力的组合允许向所述隔膜提供具有在约1至100m/s(优选地约3至30m/s)的范围内的速度和在约1至100μm(优选地1至10μm)的范围内的大小的清洁物质颗粒，使得两相流清洁但不破坏薄且脆弱的隔膜。 | ||
| 搜索关键词： | 隔膜 清洁 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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