[发明专利]非极性Ⅲ族氮化物二元和三元材料,及其获得方法和用途在审

专利信息
申请号: 202080074433.5 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN114599827A 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 谢梦尧;阿玛利亚·路易萨·费尔南多·萨瓦哆啦;安娜·玛利亚·本高奇亚·昂凯柏;史蒂芬·阿尔伯特;安立奎·葛耶哈·帕督;米高林·安吉尔·桑切斯·伽西亚;大卫·娄帕斯-罗密欧·莫罗瑞达 申请(专利权)人: 谢奉杰;谢梦尧
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B25/04;H01L21/02;H01L31/18
代理公司: 北京专猎知识产权代理事务所(普通合伙) 16023 代理人: 刘心蕾
地址: 200237 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明的目的在于提供一种将蚀刻的非极性III族氮化物纳米柱的有序阵列聚结成非极性III族氮化物致密层的方法。此外,本发明还涉及非极性III族氮化物的二元和三元连续(2D)薄膜、层或伪衬底,其可通过本发明所公开的方法获得并具有优良的特性。本发明还包括一组特定的非极性III族氮化物连续(2D)薄膜或层,其具有选自In、Al和这两种元素组成的组中的一种成分,该III族氮化物连续(2D)薄膜或层包裹III族氮化物纳米晶体有序阵列,不管其获得方法如何,所述III族氮化物连续(2D)薄膜或层可以是以下材料组中的一种:非极性InN,非极性AlN,非极性GaxAl1‑xN,非极性InxAl1‑xN和非极性GaxIn1‑xN,其中0x1。
搜索关键词: 极性 氮化物 二元 三元 材料 及其 获得 方法 用途
【主权项】:
暂无信息
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