[发明专利]光调制器和制造光调制器的方法在审
| 申请号： | 202080074662.7 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN114730104A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | A·斯科菲尔德 | 申请（专利权）人： | 洛克利光子有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李湘;陈岚 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MOS电容器型光调制器，包括：绝缘体上硅(SOI)衬底；第一掺杂区，所述第一掺杂区在所述SOI衬底的硅器件层中；以及第二掺杂区，所述第二掺杂区与所述第一掺杂区由竖直地延伸的绝缘体层横向地分离以形成横向MOS电容器区。所述第一掺杂区、所述第二掺杂区和所述绝缘体层由不同的材料形成。 | ||
| 搜索关键词： | 调制器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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