[发明专利]结合型聚焦环在审
| 申请号： | 202080075253.9 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN114600220A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 朴珍庆 | 申请（专利权）人： | TEM株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李银花;邓毅 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及将聚焦环分离为多个而组装，由此可以仅更换暴露于等离子体而发生蚀刻消耗的部分的结合型聚焦环，其特征在于，其包括：上部等离子体暴露环，其放置在静电吸盘的上部外侧；下部导热支承环，其紧贴到上述上部等离子体暴露环的下部而被组装；结合环，其组装到上述下部导热支承环的外侧；第一结合部，其将上述上部等离子体暴露环和下部导热支承环结合；及第二结合部，其将上述上部等离子体暴露环和结合环结合。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 聚焦 | ||
【主权项】：
暂无信息
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