[发明专利]具有液膜喷射标靶的激光产生等离子体照明器在审
| 申请号： | 202080075892.5 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114616459A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 张超;W·舒马克;J·基姆;M·弗里德曼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/201 | 分类号： | G01N23/201;H05H1/24;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文中呈现用于从采用液膜喷射标靶的激光产生等离子体(LPP)产生X射线照明的方法及系统。将经高度聚焦短持续时间激光脉冲引导到液膜喷射标靶。所述经聚焦激光脉冲与所述膜喷射标靶的相互作用点燃等离子体。在一些实施例中，液膜喷射由会聚毛细管喷嘴或会聚平面腔喷嘴产生。在一些实施例中，标靶材料包含具有相对低原子序数的一或多种元素。在一些实施例中，液膜喷射LPP光源产生用于测量半导体结构的结构特性及材料特性的在软X射线(SXR)光谱范围中的多谱线照明或宽带X射线照明。在一些实施例中，用如本文中所描述的液膜喷射LPP照明源来执行反射小角度X射线散射测量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 喷射 激光 产生 等离子体 明器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080075892.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：导航单元和方法
- 下一篇：用于监测电容式压力测量单元的功能的方法
