[发明专利]感光性组合物的制造方法及制备用预混液、感光性组合物、干膜及抗蚀剂膜的制造方法在审
| 申请号： | 202080076631.5 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN114641727A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 小岛大辅;海老泽和明 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种能够减少源自含硫化合物的异物的化学放大型感光性组合物的制造方法。为含有通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)、在室温下为固体的含硫化合物(C)、汉森溶解度参数的极性项δp为10(MPa |
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| 搜索关键词： | 感光性 组合 制造 方法 制备 用预混液 抗蚀剂膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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