[发明专利]具有集成光栅的顶部发射VCSEL阵列在审
申请号: | 202080081251.0 | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN115039304A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 乔鹏飞;邵宥楠 | 申请(专利权)人: | 深圳博升光电科技有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 艾佳 |
地址: | 518071 广东省深圳市南山区桃源街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 顶部发射垂直腔面发射激光器(VCSEL)被描述为具有蚀刻到VCSEL中和/或在VCSEL上方制造的各种顶侧光栅,以配置光发射特性以适应各种应用。顶侧光栅被配置用于以任何所需对准/未对准跨越一个或多个发射器,使用宽范围的折射率材料和布置、维度水平(1D、2D或3D)、光栅的啁啾形式、各种光栅周期、透射/反射特性和面内耦合、衍射级范围、透射级和反射级的不同相对幅度、不同偏振、不同准直水平、不同发散水平、不同衍射和反射、不同光束漫射、光输出的固定或变化旋转以及光输出的远场工程化。 | ||
搜索关键词: | 具有 集成 光栅 顶部 发射 vcsel 阵列 | ||
【主权项】:
暂无信息
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