[发明专利]具有集成光栅的顶部发射VCSEL阵列在审

专利信息
申请号: 202080081251.0 申请日: 2020-09-22
公开(公告)号: CN115039304A 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 乔鹏飞;邵宥楠 申请(专利权)人: 深圳博升光电科技有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 艾佳
地址: 518071 广东省深圳市南山区桃源街道*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 顶部发射垂直腔面发射激光器(VCSEL)被描述为具有蚀刻到VCSEL中和/或在VCSEL上方制造的各种顶侧光栅,以配置光发射特性以适应各种应用。顶侧光栅被配置用于以任何所需对准/未对准跨越一个或多个发射器,使用宽范围的折射率材料和布置、维度水平(1D、2D或3D)、光栅的啁啾形式、各种光栅周期、透射/反射特性和面内耦合、衍射级范围、透射级和反射级的不同相对幅度、不同偏振、不同准直水平、不同发散水平、不同衍射和反射、不同光束漫射、光输出的固定或变化旋转以及光输出的远场工程化。
搜索关键词: 具有 集成 光栅 顶部 发射 vcsel 阵列
【主权项】:
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