[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202080082676.3 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN114746807A | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 染谷康夫;海保贵昭;阿出川穂 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸、且对显影液的溶解性因酸的作用而变化。含有具有以通式(a0‑1)表示的结构单元(a0)的高分子化合物(A1)、以通式(b1)表示的化合物(B1)以及以通式(d1)表示的化合物(D1)。R为氢原子等；Va |
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| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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