[发明专利]用于质量传感的谐振器结构在审
| 申请号： | 202080085596.3 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN114868015A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·韦伯斯特 | 申请（专利权）人： | QORVO美国公司 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;G01L1/16 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰;李红萧 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种固体安装谐振器传感器，所述固体安装谐振器传感器具有衬底。抗反射器堆叠靠近所述衬底设置。所述抗反射器堆叠包括一个或多个声干扰层。第一电极靠近所述抗反射器堆叠设置。第二电极具有面向所述第一电极的第一表面和背离所述第一电极的相对的第二表面。基本上四分之一波长压电材料层设置在所述第一电极与所述第二电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 质量 传感 谐振器 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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