[发明专利]用于高分辨率有机发光显示器的柔性光图案化掩膜及制造方法在审
| 申请号： | 202080090481.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114868273A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 车爀镇;柳美善 | 申请（专利权）人： | 胡网加成股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00;G03F7/12;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 李亚 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造柔性光图案化掩模的方法。该方法包括a)将光刻胶组合物涂覆在基底上以形成光刻胶膜，b)曝光光刻胶膜以对光刻胶膜进行图案化，c)对图案化的光刻胶膜进行显影，以及d)固化显影的光刻胶膜以形成具有多个锥形开口的图案化层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高分辨率 有机 发光 显示器 柔性 图案 化掩膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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